下面介紹影響光學(xué)計(jì)的儀器精度的幾個(gè)因素。
(1) 理論誤差/光學(xué)杠桿放大比的非線性誤差
在自準(zhǔn)直儀中,測(cè)桿位移量S通過自準(zhǔn)直光學(xué)系統(tǒng)放
大,反映在準(zhǔn)直物鏡焦面上的標(biāo)尺象位移的放大比K為
K=tg2a
atga a 1-tg a
。2f1
(2-1)
1
1-t=1+tg.a+tg'a+tga+·
因tga=二,是一個(gè)很小的量,所以,可以把tg'a以下的各
項(xiàng)高階小量之和略去不計(jì),則式(2-1) 可化簡(jiǎn)為
16
急位移量!為1-X5-2 (1+5)
上式說明,測(cè)桿位移量S與象位移量/不成精確的線性
關(guān)系,放大比隨著測(cè)桿位移量增加加速遞增。制造單位為
了簡(jiǎn)化工藝,光學(xué)計(jì)管上分期板的分劃間隔是按照放大比
K'=2//a來等分刻制的,于是就引進(jìn)了理論誤差。
設(shè)”為測(cè)桿移功量S的假想象位移
1'=2/5/a
則理論誤差品;為
6- (I-P') /K'. 2/ S
g g5/2/ 5#
(2
如果以JD3光學(xué)計(jì)實(shí)際設(shè)計(jì)的物鏡焦距/=204毫米,
K'=80 來決定光學(xué)杠桿短臂a之值。
期
當(dāng)S-0. 10毫米時(shí),按式(2-4) 求得8; -0. 038微米在
二端士0. 10毫米的位置上所引進(jìn)較大偏差值28; -0. 076微
米,a-2//K'-2x204/80=5. 1毫米
反院為了降低該項(xiàng)誤差的影響,國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定在校正光學(xué)計(jì)
示值時(shí),在士100格的位置上得到K=80. 應(yīng)用二等量塊時(shí)
對(duì)分劃板+100、0、-100三個(gè)位置進(jìn)行調(diào)整,通過臂長(zhǎng)“
的調(diào)整,使這三個(gè)位置的示值誤差校正到“零”, 這時(shí),a 比
名義值有改量增加,所以在+100、0、-100格的量值上無
理論誤差,在其他位置上K均小于80.以上所連問題可參
閱圖2-28, 直線4是僅器分劃板上所表示的格數(shù)與測(cè)桿位 格,移到S.點(diǎn)
移的關(guān)系,曲線日為臂長(zhǎng)a=5. 1毫米時(shí)未經(jīng)調(diào)整的實(shí)際象
米的誤差值相
位移/與S的美系,曲線C是a經(jīng)調(diào)整后的象位移曲線。良以證明,較夫
固件位移量S, 的實(shí)際象成在曲線C的b點(diǎn),面在分劃板上
是由C點(diǎn)讀出S, 值所產(chǎn)生的誤差
8S. =S. -S,
反映在分劃板上的差值
81, =808S.
根據(jù)計(jì)算,在S≈±0. 058毫米處理論誤差較大,其值為
8S. . ~0. 015微米
示值范圍內(nèi)較大理論誤差8, =28S. . . ~0. 03微米,這樣調(diào)
整后,理論誤差減小了??墒怯缮蠄D中看到,盡管通過a的調(diào)
整,使較大理論誤差減小了很多,但這時(shí)S=±100格處,
放大比K=80, 不是較佳位置。如果把校正點(diǎn)的位置由±100
格,移到S.點(diǎn)(圖2-29) , 使該較大誤差8lm.x與S為0. 1毫
米的誤差值相等,將把理論誤差減至更小。S.為校正點(diǎn)???/div>
以證明,較大誤差的位置在S. /?3上,若8/. .x=81. . , , 可解
圖2-29S. 點(diǎn)校正的理論誤差
得S, =0. 0867毫米,修正后臂長(zhǎng)a.=5. 102毫米,示值范
圍內(nèi)較大理論誤差8: =0. 02微米。由以上分析,認(rèn)為采用1、
1. 09毫米的二等量塊來調(diào)校臂長(zhǎng)更合理些。在光學(xué)計(jì)出廠檢
定時(shí),較大不正確度的檢查也必須用1、1. 03、1. 06、1. 09
毫米的量塊,所以并不增加裝校工作的困難。
(2) 分劃板分度誤差
測(cè)量桿的位移是依靠分劃板上標(biāo)尺來讀取量值的,故標(biāo)
尺的分度累積誤差將直接影響讀數(shù)。生產(chǎn)單位確定它的制道
誤差為3微米,將該值除以光學(xué)杠桿放大比K, 即為分劃板
反映到被測(cè)量工件上的測(cè)量誤差》。
8: =±3/80~士0. 04微米
(3) 基準(zhǔn)誤差
調(diào)整臂長(zhǎng)a時(shí),需要應(yīng)用二等量塊校正示值,于是量塊的誤差就帶入到儀器中去了。